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波長色散X射線熒光光譜儀WDA-3650用于薄膜評估的X射線熒光分析儀同時對各種薄膜的薄膜厚度和成分進(jìn)行無損、非接觸式分析。這是一種波長色散X熒光光譜儀（WD-XRF），可以以非破壞性和非接觸方式同時分析尺寸達(dá)~200mm的晶圓上各種薄膜的厚度和組成。

日本理學(xué)連續(xù)波長色散X射線熒光光譜儀ZSX Primus 400專為處理非常大或重的樣品而設(shè)計(jì)，非常適合分析濺射靶材、磁盤，或用于多層薄膜計(jì)量或大型樣品的元素分析。

理學(xué)波長色散型X射線熒光光譜儀Simultix 15是一種用于分析物質(zhì)成分的儀器。它利用X射線與物質(zhì)相互作用產(chǎn)生的特征性熒光輻射進(jìn)行分析。

德國斯派克X熒光光譜儀采用與斯派克公司高性能實(shí)驗(yàn)室用臺式熒光光譜儀相同的小型低能量的X射線管，保證了準(zhǔn)確的離子激發(fā)效果。特殊開發(fā)的SDD檢測器，數(shù)據(jù)采集速度10倍于傳統(tǒng)的檢測器，提高了儀器的分析靈活性。

斯派克 X熒光光譜儀 XEPOS技術(shù)參數(shù)內(nèi)部采用高性能部件，可獲得好的靈敏度和準(zhǔn)確性。采用偏振次級靶以確保*佳激發(fā)，12位樣品自動交換器，預(yù)先安裝好的應(yīng)用軟件包和智能軟件模塊，使SPECTRO XEPOS成為真正的多功能元素分析儀。

多功能偏振型X射線熒光光譜儀具有多達(dá)十幾種校正模式(數(shù)學(xué)模型)(方法)，在定量分析中可充分應(yīng)用，已取得最佳的分析結(jié)果。

能量色散小焦點(diǎn)X射線熒光光譜儀采用空冷、低能量X射線管和高分辨率的檢測系統(tǒng)，集準(zhǔn)直、聚焦、樣品激發(fā)于一體，是功能強(qiáng)大的金屬分析儀SPECTRO MIDEX　適合分析體積很小的稀有金屬或面積較小的樣品。

X射線熒光光譜儀具有創(chuàng)新的光學(xué)上述配置。由于樣品室的維護(hù)，再也不用擔(dān)心被污染的光束路徑或停機(jī)時間。光學(xué)元件以上的幾何結(jié)構(gòu)消除了清潔問題并延長了使用時間。